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专利名称：喷液装置及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：毛庆宜,吴永祥,陈来成申请号：CN200510132099.1申请日：20051221公开号：CN1986230A公开日：20070627
摘要：一种喷液装置及其制造方法，此喷液装置包括堆叠式流道结构与致动元件。其中，堆叠式流道结构包括第一基板与第二二基板，第二基板设置于第一基板上。而且，第一基板及第二基板之上、下表面分别具有多个盲孔，且部分的盲孔是互相贯通，因而构成此喷液装置之压力腔、储液槽、出液流道、入液流道与喷孔。另外，致动元件是设置于第二基板之上表面上，用以对压力腔内之液体施压，而使此液体由喷孔喷出。上述盲孔通过半导体工艺所形成，因此此喷液装置可批次生产，以节省工艺成本。
申请人：财团法人工业技术研究院
地址：省新竹县竹东镇中兴路四段195号
国籍：CN
代理机构：北京连和连知识产权代理有限公司
代理人：王永红
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