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专利名称:盛放石英坩埚用的碳碳坩埚专利类型:实用新型专利
发明人:赵会刚,李德建,张晓朋,李朝阳申请号:CN201620345812.4申请日:20160422公开号:CN205590834U公开日:20160921
摘要:本实用新型涉及一种坩埚,特别是涉及一种盛放石英坩埚用的碳碳坩埚,包括石墨底座、碳碳坩埚和上盖,碳碳坩埚放在底座上,上盖与碳碳坩埚扣合,碳碳坩埚为左右两瓣式结构,碳碳坩埚的下端为底口卡槽,底座包括底口和底托,底托上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中,底口上端嵌入底口卡槽,底口与碳碳坩埚组合成一体式坩埚形状。本实用新型采用了碳碳材料的坩埚壁,节省了石墨的用量,两瓣式结构可拆卸,方便石英坩埚的取出,且底座分成两部分,减少了石墨底座的破坏范围,底托破损几率低,石墨利用率高,极大的节省了单晶硅生产的成本。
申请人:河北宁通电子材料有限公司
地址:055550 河北省邢台市宁晋县大曹庄管理区产业聚集区西区
国籍:CN
代理机构:石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:周大伟
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