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专利名称：设有测温装置的真空腔体专利类型：实用新型专利发明人：郭勋聪,洪婉玲,蔡俊毅申请号：CN201220481609.1申请日：20120920公开号：CN202816888U公开日：20130320
摘要：本实用新型公开了一种设有测温装置的真空腔体，该真空腔体主要包括：一腔体；一第一板材；一第二板材；一第三板材；一第四板材；一第五板材；以及多个测温装置。该真空腔体结构可提升腔体耐热温度，并可通过测温装置设置，精准地监控真空腔体内部温度，以提高加工品质。
申请人：钜永真空科技股份有限公司
地址：中国台南市安定区港口240-7号
国籍：CN
代理机构：北京汇泽知识产权代理有限公司
代理人：张瑾
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