浅析晶圆制造自动化物料运输系统调度研究现状

《装备制造技术￣２０１７年第０５期　浅析晶圆制造自动化物料运输系统调度研究现状　宋昊举，吴立辉，王维豪　（河南工业大学机电工程学院，河南郑州４５０００７）　摘要：自动化物料运输系统（Ａｕｔｏｍａｄｃ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｈａｎｄｌｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍ，ＡＭＨＳ）在晶圆制造中扮演着非常重要的角色，已成为　晶圆制造工厂不可或缺的组成部分。晶圆制造ＡＭＨＳ具有运输任务规模庞大、运输需求随机、任务实时性要求高等特　点，通过调度优化可显著提高ＡＭＨＳ及晶圆制造系统运行效率。对晶圆制造ＡＭＨＳ调度方法研究现状进行了简单总　结，并指出了ＡＭＨＳ调度进一步的研究方向。　关键词：晶圆制造；自动化物料运输系统；调度方法　中图分类号：ＴＰ３９９　文献标识码：Ａ　文章编号：１　６７２—５４５Ｘ（２０１　７）０５—００４７—０３　随着半导体集成电路的飞速发展，晶圆制造业　好，在物料运输调度中广泛使用，但是由于启发式规　迎来快速发展的黄金时期。为适应市场需求、提高企　则根据经验来建立，缺少数学理论基础。因此，对于　业效益，晶圆制造企业面临着提高生产效率，降低生　动态、随机变化的物料运输系统无法进行实时优化；　产成本的双重压力。ＡＭＨｓ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｈａｎ—　仿真优化方法包含实时仿真、连续仿真等，由于实际　ｄｌｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍ，自动化物料运输系统）作为晶圆制造的　半导体车间存在成本高、不支持迅速测试等特点，因　重要组成部分，对其优化调度具有重要意义。　此，利用仿真的方法可以对实际生产提供技术转换　的指导方针；人工智能方法包含人工神经网络、模糊　１　ＡＭＨＳ调度问题描述　逻辑、智能Ａｇｅｎｔ等。人工智能调度方法虽然可以有　效解决运筹学和启发式规则的缺点，但仍然无法满　自动化物料运输系统调度是指在满足晶舟搬运　足晶圆运输调度中大规模、具有复杂约束以及多目　约束条件的前提下，安排物料运输小车搬运晶舟的　标优化的实时动态调度需要。　先后顺序和时间，从而提高ＡＭＨＳ运行效率［１］。晶圆　２．１基于运筹学求解方法　制造ＡＭＨＳ调度问题具有大规模、随机性、实时性等　针对晶圆制造ＡＭＨＳ调度问题，Ｄｅｓａｕｌｔｎｉｅｒｓ斤等【　】　特点，是典型的ＮＰ—ｈａｒｄ问题［２１，因此国内外学者对　考虑运输小车对晶圆调度的影响，以减少运输小车　其进行了广泛、深入研究。　堵塞率为目标，将小车指派问题转化为数学规划问　题，并采用分支界定法和列生成法对其求解，最终获　２　ＡＭＨＳ调度方法研究现状　得较优的物料运输调度方案；Ｗａｎｇ等［４１以减少晶圆　加工周期为优化目标，将晶圆制造物料运输指派问　目前，晶圆制造ＡＭＨＳ调度方法研究趋于复杂　题转化为整数规划问题，并运用拉格朗日松弛法对　化和多元化，ＡＭＨＳ调度方法有：运筹学求解的方法、　问题进行求解获得物料运输的优化结果；Ｃｏｒｒｅａ等［５１　启发式规则的方法、仿真优化方法、人工智能方法。　以减少工件运输时间为目标，综合考虑运输小车和　其中，运筹学求解方法包含整数规划、线性规划、动　晶圆指派问题，运用约束规划方法和混合整数规划　态规划等，当物料运输调度规模较小时，该方法可以　方法来分别求解晶圆任务分配问题和小车路径优化　获得调度问题的最优解或次优解，但是由于数学规　问题。Ｎａｋａｍｕｒａ等［６１考虑运输小车派工问题和路径规　划模型求解计算量大、计算时间长，对于复杂、大规　划问题，建立了一个混合模型并转化为二进制整数　模和随机的晶圆物料运输调度问题很难满足实时调　线性规划（Ｂｉｎａｒｙ　Ｉｎｔｅｇｅｒ　Ｌｉｎｅａｒ　Ｐｒｏｇｒａｍｍｉｎｇ，ＢＩＬＰ）　度的需求；启发式规则方法包含单一启发式规则和　问题进行求解。　复合启发式规则，该方法计算量小、效率高、实行性　收稿日期：２０１７—０２—２５　基金项目：河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目（２０１５ＧＧＪＳ一０３６）；河南工业大学科技创新人才计划项目（２０１４ＣＸＲＣ０２）　作者简介：宋昊举（１９９３一），男，河南安阳人，在读硕士，研究方向：晶圆制造物料运输系统建模、调度。　４７　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｎｏ．０５，２０１７　２．２基于启发式规则方法　针对晶圆制造ＡＭＨＳ调度问题，Ｙａｍａｓｈｉｔａ等［７　Ｉ提出一种改进的先到先服务规则对物料运输系统实　３　ＡＭＨＳ调度研究发展趋势　随着晶圆尺寸从３００　ｍｎｌ向４５０　１ＴＩｍ发展，整体　式ＡＭＨＳ的运用也会越来越广泛。对于ＡＭＨＳ调度　现实时指派，有效减少晶圆的等待时间；Ｋｕｏ等［８１综合　晶圆卡等待时间、搬运时间及运输小车位置等参数，　提出了一种基于模糊逻辑方法的动态选取物料调度　规则，虽然此方法具有动态适应性，但是本质仍属于　启发式规则；Ｊａｎｇ等［９１考虑系统中晶圆的当前位置及　未来运输信息，针对物料运输系统调度提出一种面　方法的研究也有了新的发展方向。对于运筹学方法　而言，虽然可以获得调度问题的最优解或者次优解，　但随物料运输调度规模增大，计算效率将迅速下降，　无法对大规模、复杂的ＡＭＨＳ进行有效调度。而将运　筹学方法与智能方法等相结合是ＡＭＨＳ调度研究的　向前馈的复合启发式规则；Ｂｉｌｇｅ等【　０１将运输小车的　调度和晶圆加工调度相结合，综合考虑运输时间、设　备缓冲区中物料数量等因素，提出基于多参数的复　合启发式方法，实现物料运输调度的全局优化。　２．３基于仿真优化方法　仿真优化方法被广泛应用于对ＡＭＨＳ中晶圆产　出率、在制品数量、加工设备利用率等性能指标的分　析，从而对系统采用合适的控制策略和调度方法以　提高产品准时交货率。以３００　ｍｍ晶圆生产线为研究　对象，Ｌｉｎ等ｆｆｆＩ根据瓶颈设备的实时隋况运用计算机　仿真方法进行调度，提出了一种基于推／拉结合的运　行规则，并运用ｅ　Ｍ—Ｐｌａｎｔ进行离散时间仿真，得出：　当ｗａｆｅｒ到达率足够高时，ＡＭＨＳ性能将大幅提高，　晶圆在制品数量和加工周期也将大幅降低；对于多　目标优化下的半导造生产调度问题，Ｌｅｅ等【ｌ２１建　立以时间响应为触发，面向对象的Ｐｅｔｒｉ网的仿真模　型，并对其方法的有效性进行验证。　２．４基于人工智能方法　对于ＡＭＨＳ中分层协制、重调度控制等运　用人工智能的方法能很好得到解决。Ｍｉｎ等［１３】根据系　统状态运用神经网络进行控制规则的选择，将传统基　于规则面向设备或面向工件单一方式的控制策略转　化为动态变化的控制策略，满足了ＡＭＨＳ动态调度　的要求；对于ＡＭＨＳ动态调度问题，Ｋｕｏ等㈣综合复　杂的产品组合和工艺路线，提出了一种基于模糊逻辑　的满足生产目标和制造指标的多目标智能ＯＨＴ调度　器，该调度器可以根据生产的实时数据对ＡＭＨＳ调　度规则进行动态调整，并通过模型验证多目标智能调　度器的结果优于单一规则调度结果；以单闭环Ｉｎｔｅｒ—　ｂａｙ系统为背景，Ｗａｎｇ等【　５１综合工件加工时间、等待　时间和小车运输时间等，运用Ａｇｅｎｔ技术提出三种启　发规则，对多时间调度采用竞标方式，并验证此方法　在全局性能掌控方面比传统启发规则更具优势。　４８　发展方向之一。启发式规则方法由于自身简单实用　易操作的特点，在ＡＭＨＳ调度中研究最为广泛，但由　于现有启发式规则方法需要根据实际生产经验来设　计规则，方法设计缺少数学理论基础，且无法对动　态、随机的物料运输系统进行动态优化。因此，设计　更加高效可靠的启发式规则将成为下一步的研究趋　势。人工智能调度方法虽然可以有效解决运筹学和　启发式规则的缺点，但现有研究仍属于动态多启发　式规则方法范畴，ＡＭＨＳ的多目标整体优化能力欠　佳。因此，如何更好地结合启发式调度规则和智能方　法，是人工智能调度方法的研究方向。综上所述，　ＡＭＨＳ调度研究至今尚未形成一套系统的理论和方　法，而通过剖析ＡＭＨＳ运行的特征和规律，设计相应　的调度方法，从而实现ＡＭＨＳ和晶圆制造系统全局　优化也是ＡＭＨＳ调度研究的研究发展趋势之一。　４结束语　信息化产业的快速发展使得晶圆制造业发展迅　速，ＡＭＨＳ作为晶圆制造工厂的重要一环，其目的是　在晶圆制造中能够最大程度地发挥作用，从而提高　晶圆制造性能指标。因此，通过晶圆制造ＡＭＨＳ调度　方法的研究，将进一步提高晶圆加工企业的生产效　率和市场竞争力，具有重要的工程意义和使用价值。　参考文献：　［１】张洁．秦威．吴立辉．晶圆制造自动化物料运输系统调　度【Ｍ】．武汉：华中科技大学出版社，２０１５．　【２］孙寅斌．晶圆制造Ｉｎｔｅｒｂａｙ物料运输系统智能调度技术研　究［Ｄ】．上海：上海交通大学机械工程与动力学院，２０１１．【３】　Ｇ．Ｄｅｓａｕｈｎｉｅｒｓ，Ａ．Ｌａｎｇｖｉｎ，Ｄ．Ｒｉｏｐｅｌ，Ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ａｎｄ　Ｃｏｎｆｌｉｃｔ－Ｆｒｅｅ　Ｒｏｕｔｉｎｇ　ｏｆ　Ａｕｔｏｍａｔｅｄ　Ｇｕｉｄｅｄ　Ｖｅｈｉｃｌｅｓ：Ａｎ　Ｅｘａｃｔ　Ａｐｐｒｏａｃｈ『Ｊ］．Ｔｈｅ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍｓ，２００４（１５）：３０９—３３　１．　【４】Ｃ．Ｗａｎｇ，Ｄ．Ｌｉａｏ，Ｐｒｉｏｒｉｔｉｚｅｄ　Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　ｍａｔｅｒｉａｌ　ｈａｎｄｌｉｎｇ　ｓｅｒｖｉｃｅｓ　ｉｎ　３００ｍｍ￣ｕｎｄｒｙ　ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ［Ｃ］．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏｆ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｗｏｒｋｓｈｏｐ，２００２：　《装备制造技术１２０１７年第Ｏ５期　１０９－１　１４．　ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｓｔｒａｔｅｇｉｅｓ　ｆｏｒ　ａｕｔｏｍａｔｅｄ　ｇｕｉｄｅｄ　ｖｅｈｉｃｌｅｓ［Ｊ］．Ｉｎｔｅｒ　ｎａｔｉｏｎａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　Ｅｃｏｎｏｍｉｃｓ，２００６，１００：６５—７５．　【５】Ａ．Ｉ．Ｃｏｒｒｅａ，Ａ．Ｌａｎｇｅｖｉｎ，Ｌ．Ｍ．Ｒｏｕｓｓｅａｕ，Ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ　ａｎｄ　ｒｏｕｔｉｎｇ　ｏｆ　ａｕｔｏｍａｔｅｄ　ｇｕｉｄｅｄ　ｖｅｈｉｃｌｅｓ：Ａ　ｈｙｂｒｉｄ　ａｐｐｒｏａｃｈ［Ｊ］．　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ＆Ｏｐｅｒａｔｉｏｎｓ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ，２００７，３４（６）：１６８８—１７０７．　【６】Ｒ．Ｎａｋａｍｕｒａ，Ｋ．Ｓａｗａｄａ，Ｓ．Ｈ．Ｓｈｉｎ．Ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ　ｏｐｔｉ　ｍｉｚａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ａｎｄ　ｒｏｕｔｉｎｇ　ｆｏｒ　ＯＨＴ　ｓｙｓｔｅｍｓ　ｖｉａ　ｈｙ　［１１］Ｊ．Ｔ．Ｌｉｎ，Ｆ．Ｋ．Ｗａｎｇ，Ｙ．Ｍ．Ｃｈａｎｇ．Ａ　ｈｙｂｒｉｄ　ｐｕｓｈ／ｐｕｌｌ－ｄｉｓ　ｐａｔｃｈｉｎｇ　ｒｕｌｅ　ｆｏｒ　ａ　ｐｈｏｔｏｂａｙ　ｉｎ　ａ　３００ｍｍ　ｗａｆｅｒ　ｆａｂ［Ｊ］．　Ｒｏｂｏｔｉｃｓ　ａｎｄ　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ—Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ，２００６，２２：　４７—５５．　ｂｒｉｄ　ｓｙｓｔｅｍ　ｍｏｄｅｌｉｎｇ［Ｃ］／／Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ　ｏｆ　ｔｈｅ　３９ｔｈ　Ａｎｎｕａｌ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　ｏｎ　ｔｈｅ　ＩＥＥＥ　Ｉｎｄｕｓｔｉａｌ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｓｏｃｉｅｔｒｙ．Ｗａｓｈ　ｉｎｇｔｏｎ，Ｄ．Ｃ．，ＵＳＡ：ＩＥＥＥ，２０１３：４４１６—４４２１．　【１２】Ｙ．Ｆ．Ｌｅｅ，Ｚ．Ｂ．Ｊｉａｎｇ，Ｈ．Ｒ．Ｌｉｕ．Ｍｕｌｔｉｐｌｅ－ｏｂｊｅｃｔｉｖｅ　ｓｃｈｅｄｕｌ　ｉｎｇ　ａｎｄ　ｒｅａｌ－ｔｉｍｅ　ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｍａｎｕｆａｃ　ｔｕｒｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ［Ｊ］．Ｃｏｍｐｕｔｅｒ＆Ｏｐｅｒａｔｉｏｎｓ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ，２００９，３６　【７】Ｈ．Ｙａｍａｓｈｉｔａ，Ａｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｒｕｌｅｓ　ｏｆ　ＡＧＶ　ｓｙｓｔｅｍｓ　ｗｉｔｈ　ｍｕｌｔｉｐｌｅ　ｖｅｈｉｃｌｅｓ［Ｊ］．ＩＩＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ，２００１（３３）：８８９－　８９５．　（３）：８６６—８８４．　［１３】Ｈ．Ｓ．Ｍｉｎ，Ｙ　Ｙｉｈ．Ｓｅｌｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｒｕｌｅｓ　ｏｎ　ｍｕｌｔｉｐｌｅ　ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｄｅｃｉｓｉｏｎ　ｐｏｉｎｔｓ　ｉｎ　ｒｅａｌ－ｔｉｍｅ　ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ　ｏｆ　ａ　ｓｅｍｉ　【８】Ｃ．Ｈ．Ｋｕｏ，Ｃ．Ｓ　Ｈｕａｎｇ．Ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｏｆ　ｏｖｅｒｈｅａｄ　ｈｏｉｓｔ　ｖｅｈｉｃｌｅｓ　ｉｎ　ａ　ｆａｂ　ｉｎｔｒａｂａｙ　ｕｓｉｎｇ　ａ　ｍｕｌｔｉｍｉｓｓｉｏｎ－ｏｉｒｅｎｔｅｄ　ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ［Ｊ］．　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈ　ｎｏｌｏｇｙ，　ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｓｙｓｔｅｍ［Ｊ］．Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ，２００３，４１（１６）：３９２１—３９４１．　【１４１　Ｃ．Ｈ．Ｋｕｏ，Ｃ．Ｓ．Ｈｕａｎｇ．Ｄｉｓｐａｔｃｈｉｎｇ　ｏｆ　ｏｖｅｒｈｅａｄ　ｈｏｉｓｔ　ｖｅｈｉ　ｃｌｅｓ　ｉｎ　ａ　ｆａｂ　ｉｎｔｒａｂａｙ　ｕｓｉｎｇ　ａ　ｍｕｌｔｉｍｉｓｓｉｏｎ－ｏｒｉｅｎｔｅｄ　ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ　２００６。（２７）：８２４—８３２．　［９　Ｊ．９］Ｊ．Ｊａｎｇ．，Ｊ．Ｄ．Ｓｕｈ，Ｐ．Ｍ．Ｆｅｒｒｅｉｒａ，Ａｎ　ＡＧＶ　ｒｏｕｔｉｎｇ　ｐｏｌｉｃｙ　ｒｅｆｌｅｃｔｉｎｇ　ｔｈｅ　ｃｕｒｒｅｎｔ　ａｎｄ　ｆｕｔｕｒｅ　ｓｔａｔｅ　ｏｆ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ａｎｄ　［Ｊ］．Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌ　ｏｇｙ，２００６（２７）：８２４－８３２．　［１５］Ｋ．Ｊ．Ｗａｎｇ，Ｊ．Ｔ．Ｌｉｎ，Ｇ．Ｗｅｉｇｅｒｔ．Ａｇｅｎｔ－ｂａｓｅｄ　ｉｎｔｅｒｂａｙ　ｓｙｓｔｅｍ　ｃｏｎｔｒｏｌ　ｆｏｒ　ａ　ｓｉｎｇｌｅ－ｌｏｏｐ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　ＬＣＤ　ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　ｌｉｎｅｓ【Ｊ】．Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍ，２００１，３９（１７）：３９０１—３９２１．　【１０］Ｕ．Ｂｉｌｇｅ，Ｇ．Ｅｓｅｎｄｕｒａｎ，Ｎ　Ｖａｒｏ１．Ｍｕｌｔｉ－ａｔｔｉｒｂｕｔｅ　ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ　ｆａｂ［Ｊ］．Ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　Ｐｌａｎｎｉｎｇ＆Ｃｏｎｔｒｏｌ，２００７，１８（２）：７４－９０．　Ｓｕｒｖｅｙ　ｏｎ　ｔｈｅ　Ｃｕｒｒｅｎｔ　Ｓｉｔｕａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｗａｆｅｒ　Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　Ａｕｔｏｍａｔｅｄ　ＭａｔｅｒｉａＩ　Ｈａｎｄｌｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍ　Ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ　ＳＯＮＧ　Ｈａｏ－ｊｕ，ＷＵ　Ｌｉ－ｈｕｉ，ＷＡＮＧ　Ｗｅｉ－ｈａｏ　（Ｓｃｈｏｏｌ　ｏｆ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ＆Ｅｌｅｃｔｉｃａｌｒ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｈｅｎａｎ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，　Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ　Ｈｅｎａｎ　４５０００７，Ｃｈｉｎａ）　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　ｍａｔｅｒｉａｌ　ｈａｎｄｌｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ（ＡＭＨＳ）ｐｌａｙｓ　ａ　ｖｅｒｙ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ　ｒｏｌｅ　ｉｎ　ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｈａｓ　ｂｅｃｏｍｅ　ａｎ　ｉｎｔｅｇｒａｌ　ｐａｒｔ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｆａｃｉｌｉｔｙ．Ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ＡＭＨＳ　ｈａｓ　ａ　ｌａｒｇｅ　ｓｃａｌｅ　ｏｆ　ｔｒａｎｓｐｏｒｔ　ｔａｓｋｓ，ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ　ｎｅｅｄｓ　ｒａｎｄｏｍ，ｈｉｇｈ　ｒｅａｌ－ｔｉｍｅ　ｔａｓｋ　ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ，ｔｈｒｏｕｇｈ　ｓｃｈｅｄｕｌｅ　ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ　ｃａｎ　ｓｉｇｎｉｉｆ—　ｃａｎｔｌｙ　ｉｍｐｒｏｖｅ　ｏｐｅｒａｔｉｏｎａｌ　ｅｆｉｃｉｆｅｎｃｙ　ｏｆ　ＡＭＨＳ　ａｎｄ　ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｓｙｓｔｅｍ．Ｉｎ　ｔｈｉｓ　ｐａｐｅｒ，ｔｈｅ　ｐｒｅｓｅｎｔ　ｓｉｔｕａｔｉｏｎ　ｏｆ　ＡＭＨＳ　ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ　ｍｅｔｈｏｄ　ｆｏｒ　ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　ｉｓ　ｂｒｉｅｆｌｙ　ｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ，ａｎｄ　ｔｈｅ　ｆｕｒｔｈｅｒ　ｒｅｓｅａｒｃｈ　ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ＡＭＨＳ　ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ　ｉｓ　ｐｏｉｎｔｅｄ　ｏｕｔ．　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ｗａｆｅｒ　ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ；ａｕｔｏｍａｔｉｃ　ｍａｔｅｒｉａｌ　ｈａｎｄｌｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ（ＡＭＨＳ）；ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ　ｍｅｔｈｏｄ　（上接第４０页）　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｓｏｌｉｄ　Ｂａｒｒｉｅｒ　ｆｏｒ　Ｉｎｔｅｇｒａｌ　Ｆｕｅｌ　Ｔａｎｋ　ｏｆ　Ｃｉｖｉｌ　Ａｉｒｃｒａｆｔ　ＢＯ　ｘｉａｏ—ｌｉ　（Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｓｔｒｅｎｇｔｈ　Ｄｅｓｉｇｎ，Ｓｈａｎｇｈａｉ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ａｉｒｃｒａｆｔ　Ｄｅｓｉｇｎ　ａｎｄ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ，Ｓｈａｎｇｈａｉ　２００２　１　０，Ｃｈｉｎａ）　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ　ｉｎｔｅｇｒａｌ　ｆｕｅｌ　ｔａｎｋ　ｏｆ　ｃｉｖｉｌ　ａｉｒｃｒａｆｔ　ｉｓ　ｗｉｎｇ　ｂｏｘ　ｓｅｇｍｅｎｔ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　ｗｈｉｃｈ　ｓａｖｉｎｇ　ｆｕｅｌ，ｗｈｅｎ　ｃａｌｃｕｌａｔｉｎｇ　ｔｈｅ　ｈｙｄｒａｕｌｉｃ　ｐｒｅｓｓｕｒｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｆｕｅｌ　ｔａｎｋ，ｔｈｅ　ｓｏｌｉｄ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｉｓ　ｖｅｒｙ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ．Ｔｈｅ　ｆｕｅｌ　ｔａｎｋ　ｉｎｔｅｒｎａｌ　ｂａｒｒｉｅｒｓ　ａｎｄ　ｂａｆｆｌｅｓ　ｍａｙ　ｂｅ　ｃｏｎｓｉｄｅｒｅｄ　ａｓ　ｓｏｌｉｄ　ｂｏｕｎｄａｒｉｅｓ　ｉｆ　ｓｈｏｗｎ　ｔｏ　ｂｅ　ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ　ｉｎ　ｌｉｍｉｔｉｎｇ　ｆｕｅｌ　ｆｌｏｗ．Ｔｈｅ　ｒｅｐｏｒｔ　ｐｒｏｖｉｄｅｓ　ｆｏｒｍｕｌａ　ｔｏ　ｃａｌｃｕｌａｔｅ　ｉｔ，ａｎｄ　ａｎａｌｙｓｉｓ　ａｎ　ｅｘａｍｐｌｅ．Ｐｒｏｖｉｄｅ　ｓｏｍｅ　ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　ｔｏ　ｃａｌｃｕｌａｔｅ　ｔｈｅ　ｈｙｄｒａｕｌｉｃ　ｐｒｅｓｓｕｒｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｆｕｅｌ　ｔａｎｋ　ｏｆ　ｃｉｖｉｌ　ａｉｒｃｒａｆｔ．　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ｃｉｖｉｌ　ａｉｒｃｒａｆｔ；ｉｎｔｅｇｒａｌ　ｆｕｅｌ　ｔａｎｋ；ｓｏｌｉｄ　ｂａｒｒｉｅｒ　４９