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一种原位测试样品平台[发明专利]

来源:易妖游戏网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种原位测试样品平台专利类型:发明专利

发明人:朱大明,李晓龙,刘春泽,顾月良,阴广志,高兴宇,黎忠申请号:CN201410748771.9申请日:20141209公开号:CN104458780A公开日:20150325

摘要:本发明提供一种原位测试样品平台,包括:样品台;样品台底座,其安装在所述样品台的下表面;用于承载样品的陶瓷加热片,其内部设有电热丝和热电偶;加热片支撑架,其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方;温度控制系统,其连接至所述电热丝和所述热电偶,以实时控制所述陶瓷加热片的温度;以及循环水冷系统,其固定连接至所述样品台的下表面,以对所述样品台进行冷却。本发明能够以在线的方式对样品的升温、高温热处理和降温过程进行原位测试,并且由于温度控制系统和循环水冷系统互不影响,能够在保证循环水冷系统正常工作的条件下,使样品台温度不至于太高,并且不影响陶瓷加热片正常高温工作。

申请人:中国科学院上海应用物理研究所

地址:201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号

国籍:CN

代理机构:上海智信专利代理有限公司

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