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一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及其制备方法[发明专利]

来源:易妖游戏网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及

其制备方法

专利类型:发明专利发明人:刘凤玉

申请号:CN201210488807.5申请日:20121126公开号:CN103018797A公开日:20130403

摘要:本发明涉及一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及其制备方法。本发明膜系结构从内到外由12层膜组成,采用金属与介质膜料SiO、Al、YbF和ZnS四种膜料组合的膜系结构。本发明的膜系综合了金属反射膜反射带宽,介质反射膜反射率高的特点,膜系对7μm~11μm波段反射率大于95%,对1.0μm反射率大于99%,镀制此类膜系的光学器件可用于激光、红外共光路光学系统的仪器,具有对两波段光高反射率的特点,同时具有较高的激光损伤阈值,对提高光学仪器性能、减小仪器的重量及体积具有重要意义。

申请人:中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所

地址:471009 河南省洛阳市凯旋西路25号

国籍:CN

代理机构:郑州睿信知识产权代理有限公司

代理人:牛爱周

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